“氧化镓制备的功率电子器件可承受更高电压、更大电流，具备更低导通损耗，产业发展前景广阔，已成为全球竞相布局的战略高地。”富加镓业董事长齐红基在接受中国证券报记者专访时表示，公司正借助杭州光学精密机械研究所（简称“杭州光机所”）科创孵化平台，加快氧化镓单晶及外延片的产业化进程。
眼下，以人工智能为代表的新一轮科技革命正加速演进，推动科技创新与产业变革深度融合，成为抢占全球产业高地的关键。富加镓业是典型的科技成果转化案例，齐红基表示，要推动企业跨越科技成果转化的“死亡之谷”，打通科技创新产业化通道，打造具有培育能力的孵化平台。
氧化镓制备的功率电子器件可以承受更高的电压、更大的电流，具备更低的导通损耗，被称为第四代半导体材料。基于这些优良特性以及和单晶硅类似的高效制备方法，氧化镓已成为全球竞相布局的战略高地。”
当前，新一轮科技革命加速演进，推动科技创新和产业变革融合发展，成为抢占全球产业高地的关键。富加镓业本身就是一个科技成果转化的典型案例。“我们是国内最早开展氧化镓材料研发的团队之一，2004年至今已有20多个年头，在单晶材料制备方面有一定技术优势。”齐红基表示。
“在实验室里，科研人员追求的是不断提升材料性能。但对于创业者而言，有更高的综合要求，必须考虑材料的产业前景、批量制备成本，这首先在观念上就是一个巨大的转变。”齐红基表示，要跨过创新和创业之间的鸿沟，一个有培育能力的孵化平台至关重要，而富加镓业的科技成果转化就是在杭州光机所专业孵化器上进行的。
“这是我们从上海光机所转移过来的2英寸氧化镓单晶，很薄，只能切2-3片晶片。而这块是我们开发的4英寸的氧化镓单晶，厚度达到12mm，可以切8-10片4英寸晶片，产出效率高，成本大大降低。现在，我们已经能生产6英寸的氧化镓单晶衬底。”齐红基告诉记者，富加镓业持续加快氧化镓材料的产业化进程。“目前，我们专注于氧化镓单晶衬底及外延片，已具备明显的技术优势。在器件与模块环节，我们与合作伙伴一起开展工作，加速推进氧化镓全链路产业化。”
齐红基介绍，氧化镓产业化的重点是单晶衬底产业化。在这方面，富加镓业依靠技术优势和前瞻布局，已实现多个行业“率先”：率先实现6英寸厚单晶衬底制备，达到了半导体器件工艺线产业化门槛；超前布局人工智能领域，率先推出EFG“一键长晶”装备，解决了氧化镓材料产业化过程中的装备障碍问题，为单晶产业化奠定了基础；采用更适合产业化的MOCVD及MBE技术制备外延薄膜，率先获得行业合作伙伴器件性能验证。
值得一提的是，2024年9月，富加镓业打造的国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线在杭州富阳开工建设，预计2025年投入使用。未来，富加镓业将实现年产万片的生产规模，为下游客户提供高质量单晶及外延片，进一步加速该领域产业化进程。现阶段已实现‘一键长晶’，‘智能化长晶’正在数据采集及模型训练中，相信不久的将来会投入到实际应用中。另外，量子计算技术带来算力提升，可以在模拟仿真、数字孪生、大数据处理、材料体系设计等方面极大加速半导体材料的发展。”
为了推进氧化镓的产业化进程，实现商业化应用落地，“还需要进一步降低氧化镓的材料制备成本，以提高市场竞争力。未来，在开展研发的同时，我们会全链路推进工程化技术的开发，进一步提高产品的稳定性，降低生产成本，扩大竞争优势。”
原标题：锚定产业化 抢抓氧化镓材料发展机遇
作者：任明杰 郑萃颖
责任编辑：王婉莹
网页编辑：苏伟